一種具有復(fù)合柵結(jié)構(gòu)的IGBT芯片的加工設(shè)備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201921534574.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN210956591U | 公開（公告）日 | 2020-07-07 |
| 申請公布號 | CN210956591U | 申請公布日 | 2020-07-07 |
| 分類號 | H01J37/32(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 王全;楊其峰;鄒有彪;倪俠;徐玉豹;沈春福;王超 | 申請（專利權(quán)）人 | 富芯微電子有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 合肥正則元起專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 富芯微電子有限公司 |
| 地址 | 230001安徽省合肥市高新區(qū)香蒲路503號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開一種具有復(fù)合柵結(jié)構(gòu)的IGBT芯片的加工設(shè)備，用于IGBT芯片原料晶圓基片的限位放置與刻蝕，包括刻蝕設(shè)備本體，設(shè)置在刻蝕設(shè)備本體下方的反應(yīng)器，反應(yīng)器內(nèi)具有反應(yīng)腔體，反應(yīng)腔體內(nèi)設(shè)置有內(nèi)襯、晶圓固定座；內(nèi)襯卡合在反應(yīng)腔體內(nèi)部的側(cè)壁內(nèi)；反應(yīng)腔體的底部設(shè)有漏斗狀的清潔通道，清潔通道與渦輪泵連接；內(nèi)襯包括一筒體和與筒體一體成型的內(nèi)襯底盤；晶圓固定座包括固定座本體，固定座本體的底部設(shè)有長條狀安裝板，長條狀安裝板與放置板適配。本實用新型的加工設(shè)備可同時放置多個晶圓基片，使用等離子體對晶圓基片進行刻蝕，刻蝕形成具有平面柵、溝槽柵的復(fù)合柵結(jié)構(gòu)的IGBT芯片，大大提高了刻蝕加工效率。?? |
