具有工藝管壓力控制裝置的半導(dǎo)體熱處理設(shè)備及控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610921266.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106505016B 公開(kāi)（公告）日 2020-02-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN106505016B 申請(qǐng)公布日 2020-02-14
分類(lèi)號(hào) H01L21/67;H01L21/324 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 穆曉航;鐘結(jié)實(shí);王凱;楊帥 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司;北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
地址 100176 北京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)文昌大道8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種具有工藝管壓力控制裝置的半導(dǎo)體熱處理設(shè)備及控制方法，通過(guò)將壓力控制器原有的一個(gè)采樣點(diǎn)增加為兩個(gè)采樣點(diǎn)，其中一個(gè)采樣點(diǎn)可繼續(xù)采集工藝管排氣端的壓力，另一個(gè)采樣點(diǎn)用于采集承載區(qū)域內(nèi)的壓力，并增加在工藝的不同階段對(duì)第一、第二采樣點(diǎn)進(jìn)行切換的功能，實(shí)現(xiàn)不同工藝步驟對(duì)工藝管內(nèi)壓力的不同控制方法，從而可在滿足原有的工藝壓力控制需求的前提下，實(shí)現(xiàn)在工藝過(guò)程的升降舟階段避免承載區(qū)域內(nèi)氣體進(jìn)入工藝管的控制目標(biāo)，減少了氣流沖擊對(duì)工藝產(chǎn)品表面膜厚均勻性的影響。