反應(yīng)腔室的壓力控制系統(tǒng)及壓力控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610962237.7 申請日 -
公開（公告）號 CN107068587B 公開（公告）日 2019-10-25
申請公布號 CN107068587B 申請公布日 2019-10-25
分類號 H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 董金衛(wèi) 申請（專利權(quán)）人 北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
地址 100176 北京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種反應(yīng)腔室的壓力控制系統(tǒng)及壓力控制方法，該系統(tǒng)包括：與反應(yīng)腔室相連通的第一進(jìn)氣管路、第一流量計和第一閥門；與反應(yīng)腔室相連通的第一排氣管路，壓力控制閥，尾氣排放管路和第一大氣連通管路，第二閥門；與微環(huán)境腔室相連通的第二進(jìn)氣管路和第二排氣管路，第二流量計，第三閥門；與微環(huán)境腔室相連通的第二大氣連通管路，壓力差測量計；將第一大氣連通管路和第二大氣連通管路相連通的連接管路和第四閥門。通過流量計來控制相應(yīng)進(jìn)氣管路的氣體流量、控制相應(yīng)的排氣管路的啟閉以及通過壓力差測量計來控制微環(huán)境腔室與大氣壓力的壓差，來實現(xiàn)對反應(yīng)腔室的壓力控制。