一種太陽能電池的雙面擴散方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410376746.2 申請日 -
公開（公告）號 CN104143589B 公開（公告）日 2020-02-14
申請公布號 CN104143589B 申請公布日 2020-02-14
分類號 H01L31/18;H01L21/223 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張勤杰;傅建奇;李秀青;杜飛龍;姚雁林 申請（專利權(quán)）人 北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司
代理機構(gòu) 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;北京飛行博達(dá)電子有限公司;北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
地址 101204 北京市平谷區(qū)馬坊工業(yè)西區(qū)316號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的一種太陽能電池的雙面擴散方法，包括：將兩個晶圓的背面相對貼合放置在晶舟中；對兩個晶圓的正面進(jìn)行第一摻雜元素擴散，在晶圓正面形成第一擴散層，同時在晶圓背面和邊緣形成第一雜質(zhì)層；去除第一雜質(zhì)層；將兩個晶圓的正面相對貼合放置在晶舟中；對兩個晶圓的背面進(jìn)行第二摻雜元素擴散，在晶圓背面形成第二擴散層，同時在晶圓正面和邊緣形成第二雜質(zhì)層；去除第二雜質(zhì)層。本發(fā)明的雙面擴散方法，不僅與現(xiàn)有工藝設(shè)備相兼容，有利于實現(xiàn)工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)；并且，相比于現(xiàn)有的工藝，無需另外增加晶圓邊緣刻蝕的步驟，簡化了制備工藝，進(jìn)一步降低了生產(chǎn)成本。