半導(dǎo)體清洗設(shè)備工作狀態(tài)的監(jiān)測系統(tǒng)及檢測方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201610978418.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN106328569B | 公開（公告）日 | 2021-04-09 |
| 申請公布號 | CN106328569B | 申請公布日 | 2021-04-09 |
| 分類號 | H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 郭訓(xùn)容 | 申請（專利權(quán)）人 | 北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 陶金龍;陳慧弘 |
| 地址 | 100016北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備工作狀態(tài)的監(jiān)測系統(tǒng)，包括燈塔和燈塔控制單元。燈塔具有指示燈和蜂鳴器，其根據(jù)控制信號輸出顏色或聲音或顏色和聲音的組合。燈塔控制單元與清洗設(shè)備的機(jī)械手單元、裝卸載硅片單元、化學(xué)藥液傳輸單元、清洗工藝腔室單元、暫存硅片單元、以及所述燈塔相連。燈塔控制單元通過配置文件配置每一單元的不同狀態(tài)及各單元不同狀態(tài)的組合與燈塔的輸出之間的對應(yīng)關(guān)系；并發(fā)送指令至各單元、根據(jù)各單元對指令的執(zhí)行狀態(tài)反饋信息發(fā)送信號至燈塔使其輸出相應(yīng)的顏色和/或聲音。本發(fā)明使得設(shè)備操作者能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)清洗設(shè)備出現(xiàn)問題并迅速做出響應(yīng)。?? |
