半導體清洗設備工作狀態(tài)的監(jiān)測系統(tǒng)及檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610978418.9 申請日 -
公開（公告）號 CN106328569B 公開（公告）日 2021-04-09
申請公布號 CN106328569B 申請公布日 2021-04-09
分類號 H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郭訓容 申請（專利權）人 北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司
代理機構 上海天辰知識產(chǎn)權代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 陶金龍;陳慧弘
地址 100016北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導體清洗設備工作狀態(tài)的監(jiān)測系統(tǒng)，包括燈塔和燈塔控制單元。燈塔具有指示燈和蜂鳴器，其根據(jù)控制信號輸出顏色或聲音或顏色和聲音的組合。燈塔控制單元與清洗設備的機械手單元、裝卸載硅片單元、化學藥液傳輸單元、清洗工藝腔室單元、暫存硅片單元、以及所述燈塔相連。燈塔控制單元通過配置文件配置每一單元的不同狀態(tài)及各單元不同狀態(tài)的組合與燈塔的輸出之間的對應關系；并發(fā)送指令至各單元、根據(jù)各單元對指令的執(zhí)行狀態(tài)反饋信息發(fā)送信號至燈塔使其輸出相應的顏色和/或聲音。本發(fā)明使得設備操作者能夠及時發(fā)現(xiàn)清洗設備出現(xiàn)問題并迅速做出響應。??