一種具有加熱裝置的工藝管排氣管路及控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610921716.4 申請日 -
公開（公告）號 CN106507514B 公開（公告）日 2020-07-17
申請公布號 CN106507514B 申請公布日 2020-07-17
分類號 H05B3/02;H05B1/02 分類 -
發(fā)明人 穆曉航;鐘結(jié)實;王凱;楊帥 申請（專利權(quán)）人 北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司
代理機構(gòu) 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
地址 100176 北京市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有加熱裝置的工藝管排氣管路及控制方法，通過在工藝管排氣管路安裝加熱裝置，可根據(jù)工藝菜單中不同步驟的加熱溫度需求，以設(shè)定的溫度控制目標值對排氣管路的管壁進行加熱及溫度控制，避免了工藝排氣時的尾氣在排氣管路的管壁上沉積并形成顆粒，從而保證了工藝管排氣管路的通暢。