一種具有加熱裝置的工藝管排氣管路及控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610921716.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106507514B 公開(kāi)（公告）日 2020-07-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN106507514B 申請(qǐng)公布日 2020-07-17
分類號(hào) H05B3/02;H05B1/02 分類 -
發(fā)明人 穆曉航;鐘結(jié)實(shí);王凱;楊帥 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
地址 100176 北京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)文昌大道8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種具有加熱裝置的工藝管排氣管路及控制方法，通過(guò)在工藝管排氣管路安裝加熱裝置，可根據(jù)工藝菜單中不同步驟的加熱溫度需求，以設(shè)定的溫度控制目標(biāo)值對(duì)排氣管路的管壁進(jìn)行加熱及溫度控制，避免了工藝排氣時(shí)的尾氣在排氣管路的管壁上沉積并形成顆粒，從而保證了工藝管排氣管路的通暢。