一種精密金屬遮罩及其蝕刻激光復(fù)合制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110672322.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113373406A 公開（公告）日 2021-09-10
申請公布號 CN113373406A 申請公布日 2021-09-10
分類號 C23C14/04（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I;C23F1/02（2006.01）I;B23K26/362（2014.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 胡清淵;沈洵;張容韶 申請（專利權(quán)）人 浙江眾凌科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 浙江永航聯(lián)科專利代理有限公司 代理人 蔡鼎
地址 314400浙江省嘉興市海寧市海寧經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)芯中路8號1幢351室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種精密金屬遮罩及其蝕刻激光復(fù)合制作方法，包括金屬基材的一側(cè)面為第一主表面，另一側(cè)面為第二主表面，金屬基材上開通若干暴露孔，暴露孔位于第一主表面上設(shè)置蝕刻孔，暴露孔位于第二主表面上設(shè)置激光孔，中心相重合的蝕刻孔與激光孔呈連通狀態(tài)，蝕刻孔的外口大、內(nèi)口小，外口與內(nèi)口之間通過凹弧孔壁過渡銜接，外口與內(nèi)口連線的傾斜夾角為蒸鍍角，激光孔具有垂直孔壁，激光孔具有高精度孔徑。制作方法包括：在金屬基材的第一主表面和第二主表面上完整涂覆固態(tài)光刻膠層；在第一主表面上進(jìn)行單面的曝光顯影制程，制作出第一鏤空區(qū)；在第一鏤空區(qū)上進(jìn)行單面蝕刻制程以蝕刻出凹陷區(qū)；在凹陷區(qū)內(nèi)進(jìn)行激光制程以轟擊刻制出貫穿孔洞。