用于濕制程的全覆蓋雙室噴藥設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121252938.4 申請日 -
公開（公告）號 CN215465585U 公開（公告）日 2022-01-11
申請公布號 CN215465585U 申請公布日 2022-01-11
分類號 B05B16/40（2018.01）I;B05B13/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 張容韶;沈洵;胡清淵 申請（專利權(quán)）人 浙江眾凌科技有限公司
代理機構(gòu) 浙江永航聯(lián)科專利代理有限公司 代理人 蔡鼎
地址 314400浙江省嘉興市海寧市海寧經(jīng)濟開發(fā)區(qū)芯中路8號1幢351室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種用于濕制程的全覆蓋雙室噴藥設(shè)備，包括相銜接的第一噴藥室和第二噴藥室，第一噴藥室和第二噴藥室的中部均開設(shè)相連通的工件輸送通道，第一噴藥室和第二噴藥室的上部設(shè)置用于朝下噴藥的噴灑機構(gòu)，下部設(shè)置用于朝上噴藥的噴灑機構(gòu)，噴灑機構(gòu)包括呈豎直的進藥管和呈水平的噴藥管，進藥管與噴藥管之間通過緩沖盒相連通，噴藥管上通過若干短直管一一連通若干單噴嘴，噴藥管上通過分叉管連通雙噴嘴，分叉管包括相連通的長直管和橫支管，長直管的末端連接雙噴嘴中的其一噴嘴，橫支管的末端連接雙噴嘴中的另一噴嘴，單噴嘴設(shè)置于噴藥管的中部位置上，雙噴嘴設(shè)置于噴藥管的端部位置上，并使橫支管末端的噴嘴朝外側(cè)延伸。