用于蒸鍍的精密金屬遮罩及其多工序蝕刻制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110642496.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113265617A 公開（公告）日 2021-08-17
申請公布號 CN113265617A 申請公布日 2021-08-17
分類號 C23C14/04;C23C14/24;C23F1/02 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張容韶;沈洵;胡清淵 申請（專利權(quán)）人 浙江眾凌科技有限公司
代理機構(gòu) 浙江永航聯(lián)科專利代理有限公司 代理人 蔡鼎
地址 314400 浙江省嘉興市海寧市海寧經(jīng)濟開發(fā)區(qū)芯中路8號1幢351室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種用于蒸鍍的精密金屬遮罩及其多工序蝕刻制作方法，包括金屬基材，金屬基材的一側(cè)面為第一主表面，另一側(cè)面為第二主表面，金屬基材上開通若干暴露孔，暴露孔位于第一主表面上設(shè)置第一蝕刻孔，暴露孔位于第二主表面上設(shè)置第二蝕刻孔，中心相重合的第一蝕刻孔與第二蝕刻孔呈連通狀態(tài)，第一蝕刻孔的外口大、內(nèi)口小，且外口與內(nèi)口之間通過凹弧孔壁過渡銜接，第二蝕刻孔的外口大、內(nèi)口小，且外口與內(nèi)口之間通過凹弧孔壁過渡銜接，第一蝕刻孔與第二蝕刻孔的銜接處形成交界夾角，交界夾角大于90°，第一蝕刻孔與第二蝕刻孔的銜接處為暴露孔的高精度孔徑。本發(fā)明優(yōu)化兩側(cè)蝕刻孔相交結(jié)構(gòu)，尖點結(jié)構(gòu)更平緩、更厚實，增加強度，提高精度。