靜電驅動微機電系統(tǒng)二維掃描微鏡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410599361.2 申請日 -
公開（公告）號 CN104297922B 公開（公告）日 2016-09-07
申請公布號 CN104297922B 申請公布日 2016-09-07
分類號 G02B26/10(2006.01)I 分類 光學;
發(fā)明人 陳春明;胡放榮;張隆輝;彭暉 申請（專利權）人 桂林光隆科技集團股份有限公司
代理機構 桂林市持衡專利商標事務所有限公司 代理人 桂林光隆光電科技股份有限公司;桂林光隆科技集團股份有限公司
地址 541004 廣西壯族自治區(qū)桂林市高新區(qū)朝陽路國家信息產(chǎn)業(yè)園D-08光隆科技園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種靜電驅動微機電系統(tǒng)二維掃描微鏡，其主要由位于最底層的低阻硅基底，位于中間層的固定梳齒和梳齒引線，位于最上層的可動梳齒、二維掃描微鏡片組和支撐梁組，以及同時處于中間層和最高層的錨位所組成；通過在X軸方向引入4根L形支撐梁來作為X軸方向的鏡面旋轉軸，使得內(nèi)部固定梳齒的引線恰好從相鄰兩根L形支撐梁空隙中央通過，這樣的設計既能夠簡化了器件結構和加工工藝、降低了成本，還使得微鏡片的引線更為方便，以便于組成大規(guī)模微鏡片陣列，對拓展靜電驅動微機電系統(tǒng)二維掃描微鏡的應用領域具有十分重要的意義。