靜電驅(qū)動(dòng)微機(jī)電系統(tǒng)二維掃描微鏡

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410599361.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104297922A 公開（公告）日 2015-01-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN104297922A 申請(qǐng)公布日 2015-01-21
分類號(hào) G02B26/10(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 陳春明;胡放榮;張隆輝;彭暉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 桂林光隆科技集團(tuán)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 桂林市持衡專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 桂林市光隆光電科技有限公司;桂林光隆科技集團(tuán)股份有限公司
地址 541004 廣西壯族自治區(qū)桂林市高新區(qū)朝陽(yáng)路國(guó)家信息產(chǎn)業(yè)園D-08光隆科技園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種靜電驅(qū)動(dòng)微機(jī)電系統(tǒng)二維掃描微鏡，其主要由位于最底層的低阻硅基底，位于中間層的固定梳齒和梳齒引線，位于最上層的可動(dòng)梳齒、二維掃描微鏡片組和支撐梁組，以及同時(shí)處于中間層和最高層的錨位所組成；通過在X軸方向引入4根L形支撐梁來(lái)作為X軸方向的鏡面旋轉(zhuǎn)軸，使得內(nèi)部固定梳齒的引線恰好從相鄰兩根L形支撐梁空隙中央通過，這樣的設(shè)計(jì)既能夠簡(jiǎn)化了器件結(jié)構(gòu)和加工工藝、降低了成本，還使得微鏡片的引線更為方便，以便于組成大規(guī)模微鏡片陣列，對(duì)拓展靜電驅(qū)動(dòng)微機(jī)電系統(tǒng)二維掃描微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域具有十分重要的意義。