一種爐式PECVD防水奈米涂布裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201821542846.8 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN208791751U | 公開(公告)日 | 2019-04-26 |
申請公布號 | CN208791751U | 申請公布日 | 2019-04-26 |
分類號 | C23C16/513(2006.01)I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
發(fā)明人 | 楊福年; 鄭錫文 | 申請(專利權(quán))人 | 深圳和力納米科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 深圳市智圈知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 東莞市和域戰(zhàn)士納米科技有限公司 |
地址 | 523000 廣東省東莞市塘廈鎮(zhèn)宏業(yè)北路99A16號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種爐式PECVD防水奈米涂布裝置,包括爐體,所述爐體內(nèi)腔壁一側(cè)固定設(shè)置有滑槽,所述滑槽表面可拆卸連接有支架,所述支架表面中間固定連接有一號放卷輥,所述一號放卷輥兩側(cè)均固定焊接有二號放卷輥。本實(shí)用新型等離子發(fā)射器在低氣壓下,使空氣經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng),最終在涂布表面形成固態(tài)薄膜,從而可有效增強(qiáng)涂布的防水效果,等離子發(fā)射器工作時(shí)產(chǎn)生的廢氣通過真空泵抽進(jìn)空氣凈化器中進(jìn)行凈化,可有效減少有毒氣體的排放,且通過加熱器對防水膜進(jìn)行加熱,其中加熱器通過溫度控制器進(jìn)行控制,使加熱器保持在恒定溫度進(jìn)行加熱,加熱后通過碾壓輥對防水膜進(jìn)行碾壓,從而使防水膜被粘附在涂布表面。 |
