一種復(fù)合襯底的熱膨脹系數(shù)測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110467371.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113176291A 公開（公告）日 2021-07-27
申請公布號 CN113176291A 申請公布日 2021-07-27
分類號 G01N25/16（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 歐欣;李忠旭;黃凱 申請（專利權(quán)）人 上海新硅聚合半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 郝傳鑫;賈允
地址 201800上海市嘉定區(qū)匯源路55號8幢3層J
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種復(fù)合襯底的熱膨脹系數(shù)測試方法，所述方法包括以下步驟：在復(fù)合襯底處于第一溫度時，獲取復(fù)合襯底的第一曲率；加熱復(fù)合襯底，使得復(fù)合襯底以預(yù)設(shè)升溫速度升溫，直至復(fù)合襯底的溫度達(dá)到第二溫度，獲取復(fù)合襯底的第二曲率；冷卻復(fù)合襯底，使得復(fù)合襯底以預(yù)設(shè)降溫速度降溫，直至復(fù)合襯底的溫度達(dá)到第一溫度；在第一溫度至第二溫度之間選取至少一個目標(biāo)溫度，獲取復(fù)合襯底的目標(biāo)曲率；根據(jù)復(fù)合襯底的第一曲率、至少一個目標(biāo)曲率和第二曲率，計算得到復(fù)合襯底的曲率變化率；根據(jù)襯底和薄膜的特性參數(shù)和曲率變化率，獲得復(fù)合襯底的熱應(yīng)力；根據(jù)襯底和薄膜的特性參數(shù)和復(fù)合襯底的熱應(yīng)力，計算得到復(fù)合襯底的熱膨脹系數(shù)。