一種新型真空容器結(jié)構(gòu)的卷對(duì)卷真空鍍膜設(shè)備及鍍膜方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210185652.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114525491A | 公開（公告）日 | 2022-05-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114525491A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-05-24 |
| 分類號(hào) | C23C14/56（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 朱剛毅;朱剛勁 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 廣東騰勝科技創(chuàng)新有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 東莞高瑞專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 526000廣東省肇慶市端州區(qū)端州一路南賓日大樓側(cè)第一卡廠房之二 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種新型真空容器結(jié)構(gòu)的卷對(duì)卷真空鍍膜設(shè)備，包括真空容器，真空容器內(nèi)設(shè)有收放卷室和鍍膜室，收放卷室設(shè)隔膜閥，收放卷室內(nèi)各設(shè)放卷系統(tǒng)和收卷系統(tǒng)，放卷系統(tǒng)輸出基材進(jìn)入鍍膜室中，基材鍍膜后復(fù)卷至收卷系統(tǒng)上。一種鍍膜方法，包括：放卷系統(tǒng)輸出基材纏繞鍍膜輥一、磁控靶一對(duì)鍍膜輥一上的基材的第一面進(jìn)行鍍膜；基材通過走膜通道纏繞在鍍膜輥二、磁控靶二對(duì)鍍膜輥二上的基材的第二面進(jìn)行鍍膜，基材鍍膜后收卷在收卷系統(tǒng)上；在放卷和收卷更換卷材時(shí)，隔膜閥一和隔膜閥二關(guān)閉，保持鍍膜室一和鍍膜室二的真空度。本發(fā)明在收放卷材時(shí)，關(guān)閉隔膜閥，保持鍍膜室的真空度不變，鍍膜室和收放卷室相互獨(dú)立，加快抽真空時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。 |
