一種新型真空容器結(jié)構(gòu)的卷對卷真空鍍膜設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220418235.2 申請日 -
公開（公告）號 CN216891198U 公開（公告）日 2022-07-05
申請公布號 CN216891198U 申請公布日 2022-07-05
分類號 C23C14/56（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 朱剛毅;朱剛勁 申請（專利權(quán)）人 廣東騰勝科技創(chuàng)新有限公司
代理機構(gòu) 東莞高瑞專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 526000廣東省肇慶市端州區(qū)端州一路南賓日大樓側(cè)第一卡廠房之二
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種新型真空容器結(jié)構(gòu)的卷對卷真空鍍膜設(shè)備，包括真空容器，真空容器內(nèi)設(shè)有收放卷室和鍍膜室，收放卷室設(shè)隔膜閥，收放卷室內(nèi)設(shè)放卷系統(tǒng)和收卷系統(tǒng)，放卷系統(tǒng)輸出基材進入鍍膜室中，基材鍍膜后復(fù)卷至收卷系統(tǒng)上。本實用新型在收放卷時，關(guān)閉隔膜閥，保持鍍膜室的真空度不變，鍍膜室和收放卷室相互獨立，加快抽真空時間，有效提高生產(chǎn)效率。