一種單晶硅片垂直清洗裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921861677.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN210995605U | 公開（公告）日 | 2020-07-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210995605U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-07-14 |
| 分類號(hào) | B08B3/12(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 朱汪龍;朱玲 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無錫樂東微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 曹佩佩 |
| 地址 | 214028江蘇省無錫市新吳區(qū)景賢路52號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種單晶硅片垂直清洗裝置，屬于硅片超聲波清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，本實(shí)用新型包括清洗帶、傳送帶、藥水池和電機(jī)，清洗帶底部有數(shù)個(gè)分布均勻的凹槽，凹槽底部設(shè)有多個(gè)超聲波振子，清洗帶的外圍設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)塊和轉(zhuǎn)動(dòng)桿，通過轉(zhuǎn)動(dòng)塊和轉(zhuǎn)動(dòng)桿旋轉(zhuǎn)清洗帶，使凹槽中的單晶硅片和藥水落入傳送帶中，藥水通過傳送帶上的網(wǎng)眼落入藥水池中，而傳送帶將單晶硅片傳送至出料口。本實(shí)用新型提供的單晶硅片垂直清洗裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，維修成本低，解決了現(xiàn)有的清洗裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，維修成本高，時(shí)間長(zhǎng)，影響工作效率的問題。?? |
