一種單晶硅片的邊角磨削裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201921613254.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211305812U | 公開（公告）日 | 2020-08-21 |
| 申請公布號 | CN211305812U | 申請公布日 | 2020-08-21 |
| 分類號 | B24B9/06(2006.01)I;B24B41/06(2012.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 朱汪龍;朱玲 | 申請（專利權(quán)）人 | 無錫樂東微電子有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 南京經(jīng)緯專利商標代理有限公司 | 代理人 | 樓高潮 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)景賢路52號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型涉及一種單晶硅片的邊角磨削裝置，其中包括機架、工作臺和砂輪磨削組件，所述的工作臺和砂輪磨削組件均設(shè)置于所述的機架上，且所述的砂輪磨削組件相對于工作臺可前后移動，所述的工作臺由基體和基體上的多個支架組成，每個支架和相鄰支架之間設(shè)置一組可繞其中心軸旋轉(zhuǎn)的夾緊組件。采用該種結(jié)構(gòu)的單晶硅片的邊角磨削裝置，通過設(shè)置工作臺以及上面的多個工位，一次上件可以設(shè)置多個單晶硅片，從而實現(xiàn)一次裝件對多個工件進行加工，減少了工作人員的操作步驟，大大提高了加工效率，對于半導(dǎo)體、太陽能電池等行業(yè)的單晶硅片供給都有很重要的意義；并且整體產(chǎn)品結(jié)構(gòu)簡單，操作容易，具有更廣泛應(yīng)用范圍。?? |
