一種晶圓覆膜裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121313186.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214875777U 公開（公告）日 2021-11-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN214875777U 申請(qǐng)公布日 2021-11-26
分類號(hào) B65B11/02（2006.01）I;B65B61/06（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 陶為銀;鞏鐵建;蔡正道;喬賽賽 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 河南通用智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州芝麻知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 喬俊霞
地址 450000河南省鄭州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)瑞達(dá)路96號(hào)創(chuàng)業(yè)中心2號(hào)樓一樓A130-10號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶圓覆膜裝置，涉及芯片加工技術(shù)領(lǐng)域，具體為包括固定底板，固定底板的上表面固定連接有支撐板，支撐板的頂端固定連接有連接塊，連接塊的頂端固定連接有電動(dòng)液壓推桿，電動(dòng)液壓推桿的活動(dòng)端固定連接有固定塊，固定塊的一側(cè)插接有支撐軸，支撐軸的一端通過連塊固定連接有圓板，圓板的中部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)軸，轉(zhuǎn)動(dòng)軸的一側(cè)固定連接有U形架，U形架的內(nèi)部滑動(dòng)連接有連接桿。通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸、U形架、連接桿、拉伸彈簧、滑動(dòng)塊和伺服電機(jī)的設(shè)置，在使用的過程中可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化切割薄膜，從而起到了保證每次切割的形狀相同的作用，降低切割薄膜過程中出現(xiàn)偏差，達(dá)到了提高工作效率和覆膜質(zhì)量的目的。