一種晶圓覆膜裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121313186.8 申請日 -
公開（公告）號 CN214875777U 公開（公告）日 2021-11-26
申請公布號 CN214875777U 申請公布日 2021-11-26
分類號 B65B11/02（2006.01）I;B65B61/06（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運薄的或細絲狀材料;
發(fā)明人 陶為銀;鞏鐵建;蔡正道;喬賽賽 申請（專利權）人 河南通用智能裝備有限公司
代理機構 鄭州芝麻知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 喬俊霞
地址 450000河南省鄭州市高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)瑞達路96號創(chuàng)業(yè)中心2號樓一樓A130-10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓覆膜裝置，涉及芯片加工技術領域，具體為包括固定底板，固定底板的上表面固定連接有支撐板，支撐板的頂端固定連接有連接塊，連接塊的頂端固定連接有電動液壓推桿，電動液壓推桿的活動端固定連接有固定塊，固定塊的一側插接有支撐軸，支撐軸的一端通過連塊固定連接有圓板，圓板的中部轉動連接有轉動軸，轉動軸的一側固定連接有U形架，U形架的內部滑動連接有連接桿。通過轉動軸、U形架、連接桿、拉伸彈簧、滑動塊和伺服電機的設置，在使用的過程中可以實現(xiàn)自動化切割薄膜，從而起到了保證每次切割的形狀相同的作用，降低切割薄膜過程中出現(xiàn)偏差，達到了提高工作效率和覆膜質量的目的。