一種UV解膠機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121220575.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214898346U 公開（公告）日 2021-11-26
申請公布號 CN214898346U 申請公布日 2021-11-26
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陶為銀;鞏鐵建;蔡正道;張偉 申請（專利權(quán)）人 河南通用智能裝備有限公司
代理機構(gòu) 鄭州芝麻知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 喬俊霞
地址 450000河南省鄭州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)瑞達(dá)路96號創(chuàng)業(yè)中心2號樓一樓A130-10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種UV解膠機，包括機器本體、安裝外殼和放置托盤，機器本體的一側(cè)固定安裝有安裝外殼，安裝外殼的底部固定連接有設(shè)備箱，安裝外殼的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動連接有放置托盤，放置托盤的底部固定連接有連接柱，連接柱與設(shè)備箱的內(nèi)底壁轉(zhuǎn)動連接，連接柱的一側(cè)設(shè)有驅(qū)動部，安裝外殼的上表面分別開設(shè)有進(jìn)料洞口和出料洞口，出料洞口的一側(cè)設(shè)有移動機構(gòu)，出料洞口的下方設(shè)有推動機構(gòu)。本實用新型通過放置托盤和驅(qū)動部的設(shè)置，在使用時，人員可將料環(huán)通過進(jìn)料洞口處放入放置托盤內(nèi)，通過驅(qū)動部轉(zhuǎn)動將放置托盤上的晶圓依次轉(zhuǎn)入機器本體內(nèi)進(jìn)行解膠處理，這樣相比現(xiàn)有的解膠工序，可提升生產(chǎn)效率，節(jié)省該工序操作時間，方便人員使用。