一種晶圓解膠裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121325407.3 申請日 -
公開（公告）號 CN214898348U 公開（公告）日 2021-11-26
申請公布號 CN214898348U 申請公布日 2021-11-26
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鞏鐵建;陶為銀;蔡正道;鮑占林 申請（專利權(quán)）人 河南通用智能裝備有限公司
代理機構(gòu) 鄭州芝麻知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 喬俊霞
地址 450000河南省鄭州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)瑞達路96號創(chuàng)業(yè)中心2號樓一樓A130-10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓解膠裝置，涉及晶圓解膠技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種晶圓解膠裝置，包括解膠光源主箱，所述解膠光源主箱的上方開設(shè)有解膠腔，所述解膠腔的周邊開設(shè)有氣囊槽，所述氣囊槽的周邊開設(shè)有電磁槽，所述氣囊槽的內(nèi)部設(shè)置有橡膠氣囊，所述電磁槽的內(nèi)部固定連接有電磁鐵，所述解膠光源主箱的一側(cè)固定連接有解膠控制箱，所述解膠光源主箱的上方鉸接有解膠蓋，所述解膠蓋的上方固定連接有加強框。通過解膠蓋和照明光源總成的配合設(shè)置，使該晶圓解膠裝置具備了解膠腔內(nèi)光源充足且不晃眼的效果，通過橡膠氣囊、電磁鐵、解膠蓋和永久磁鐵片的配合設(shè)置，使該晶圓解膠裝置具備了解膠蓋的重量輕且密封性好的效果。