一種晶圓托盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121312310.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214848535U 公開（公告）日 2021-11-23
申請公布號 CN214848535U 申請公布日 2021-11-23
分類號 H01L21/673（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鞏鐵建;陶為銀;蔡正道;張偉 申請（專利權(quán)）人 河南通用智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州芝麻知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 喬俊霞
地址 450000河南省鄭州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)瑞達(dá)路96號創(chuàng)業(yè)中心2號樓一樓A130-10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶圓托盤，涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種晶圓托盤，包括托盤本體，所述托盤本體的頂部分別固定連接有支撐桿和配合塊，所述支撐桿的頂部通過軸桿轉(zhuǎn)動連接有條形塊。該晶圓托盤，通過支撐桿、條形塊、圓塊、固定塊、電動液壓推桿、連接桿、圓桿、小球和墊塊的設(shè)置，使該晶圓托盤具備了方便對晶圓進(jìn)行固定的效果，在使用的過程中電動液壓推桿的活動端伸出，使圓塊在條形槽的內(nèi)部移動，使條形塊轉(zhuǎn)動，使小球與放置在墊塊上的晶圓抵接，限制晶圓的位置，且小球和墊塊的材質(zhì)均為橡膠，避免壓壞晶圓，從而起到了方便對晶圓進(jìn)行固定的作用，達(dá)到了方便對晶圓進(jìn)行固定的目的。