一種晶圓定位裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121304407.5 申請日 -
公開（公告）號 CN214848577U 公開（公告）日 2021-11-23
申請公布號 CN214848577U 申請公布日 2021-11-23
分類號 H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 蔡正道;陶為銀;鞏鐵建;喬賽賽 申請（專利權(quán)）人 河南通用智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州芝麻知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 喬俊霞
地址 450000河南省鄭州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)瑞達(dá)路96號創(chuàng)業(yè)中心2號樓一樓A130-10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶圓定位裝置，涉及晶圓生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括安裝塊和定位塊，滑動(dòng)桿的上端固定連接有壓縮彈簧，轉(zhuǎn)動(dòng)桿遠(yuǎn)離滑動(dòng)桿的一端通過轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有滑動(dòng)塊，固定軸的外表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有撥桿，滑動(dòng)軸的一端與滑動(dòng)桿固定連接，限位塊的一側(cè)面固定連接有緩沖彈簧，導(dǎo)軌的中部插接有頂塊，螺紋桿的外表面螺紋連接有固定塊。本實(shí)用新型通過設(shè)置撥桿、固定軸、傳動(dòng)槽、滑動(dòng)軸、滑動(dòng)桿、壓縮彈簧、轉(zhuǎn)動(dòng)桿和滑動(dòng)塊，該機(jī)構(gòu)可使得對晶圓的裝夾更加方便快捷，可在一定程度上提高工作效率，通過設(shè)置固定塊、螺紋桿、頂塊、固定塊、緩沖彈簧和限位塊，該機(jī)構(gòu)最終實(shí)現(xiàn)對晶圓的防護(hù)，防止在裝夾時(shí)對晶圓造成損壞或變形。