激光加工晶圓連續(xù)供料系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021701306.7 申請日 -
公開（公告）號 CN215238668U 公開（公告）日 2021-12-21
申請公布號 CN215238668U 申請公布日 2021-12-21
分類號 B23K26/70（2014.01）I 分類 機床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 陶為銀;鞏鐵建 申請（專利權）人 河南通用智能裝備有限公司
代理機構 鄭州中原專利事務所有限公司 代理人 張春
地址 450001河南省鄭州市高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)瑞達路96號創(chuàng)業(yè)中心2號一樓A130-10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種激光加工晶圓連續(xù)供料系統(tǒng)，包括機架，機架上設置將晶圓托盤從機架上的晶圓儲料盒轉運到切割平臺的加工轉運位的連續(xù)供料系統(tǒng)，連續(xù)供料系統(tǒng)包括直線轉運機構、轉動轉運機構；直線轉運機構下方轉運位設置可以存放晶圓托盤的托料架；直線轉運機構將晶圓托盤在晶圓儲料盒的夾持位和轉運位之間轉換；轉動轉運機構使晶圓托盤在轉運位和切割平臺上的加工轉運位之間轉換。設置滑塊位移傳感器檢測晶圓托盤前后方向是否到位。檢測到位后，夾持氣缸開始動作進行夾持，夾持板位移傳感器檢測到下夾持板的上下位置是否到位從而準確的夾持晶圓托盤。托料導軌間距可調，適應不同規(guī)格晶圓托盤的存儲需要。