激光加工晶圓連續(xù)供料系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021701306.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215238668U 公開（公告）日 2021-12-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN215238668U 申請(qǐng)公布日 2021-12-21
分類號(hào) B23K26/70（2014.01）I 分類 機(jī)床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 陶為銀;鞏鐵建 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 河南通用智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州中原專利事務(wù)所有限公司 代理人 張春
地址 450001河南省鄭州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)瑞達(dá)路96號(hào)創(chuàng)業(yè)中心2號(hào)一樓A130-10號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種激光加工晶圓連續(xù)供料系統(tǒng)，包括機(jī)架，機(jī)架上設(shè)置將晶圓托盤從機(jī)架上的晶圓儲(chǔ)料盒轉(zhuǎn)運(yùn)到切割平臺(tái)的加工轉(zhuǎn)運(yùn)位的連續(xù)供料系統(tǒng)，連續(xù)供料系統(tǒng)包括直線轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)、轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)；直線轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)下方轉(zhuǎn)運(yùn)位設(shè)置可以存放晶圓托盤的托料架；直線轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)將晶圓托盤在晶圓儲(chǔ)料盒的夾持位和轉(zhuǎn)運(yùn)位之間轉(zhuǎn)換；轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)使晶圓托盤在轉(zhuǎn)運(yùn)位和切割平臺(tái)上的加工轉(zhuǎn)運(yùn)位之間轉(zhuǎn)換。設(shè)置滑塊位移傳感器檢測(cè)晶圓托盤前后方向是否到位。檢測(cè)到位后，夾持氣缸開始動(dòng)作進(jìn)行夾持，夾持板位移傳感器檢測(cè)到下夾持板的上下位置是否到位從而準(zhǔn)確的夾持晶圓托盤。托料導(dǎo)軌間距可調(diào)，適應(yīng)不同規(guī)格晶圓托盤的存儲(chǔ)需要。