適用于檢測(cè)裝載晶圓料盒的調(diào)節(jié)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811043998.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN109273384B 公開(kāi)(公告)日 2021-08-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN109273384B 申請(qǐng)公布日 2021-08-06
分類號(hào) H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 顧春華;凌儉波;王華;王斌;葉建明;季海英 申請(qǐng)(專利權(quán))人 上海華嶺集成電路技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申匯專利代理有限公司 代理人 徐穎
地址 201203 上海市浦東新區(qū)中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)郭守敬路351號(hào)2號(hào)樓1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種適用于檢測(cè)裝載晶圓料盒的調(diào)節(jié)裝置,包括左右兩個(gè)對(duì)稱鋼制加緊臂、兩根相同彈簧和調(diào)節(jié)矩形塊,調(diào)節(jié)矩形塊分上下兩層,下層為硬質(zhì)固體,上層為軟質(zhì)固體,調(diào)節(jié)矩形塊的硬質(zhì)固體左右兩端分別通過(guò)兩根彈簧接兩個(gè)加緊臂底部,未使用時(shí),硬質(zhì)固體和兩根彈簧處于同一水平線上,兩個(gè)加緊臂上部夾部拉開(kāi)夾在料盒底筋上時(shí),調(diào)節(jié)矩形塊正好抵住料盒底筋。通過(guò)在任何廠家的硅晶片料盒的底部加本發(fā)明調(diào)節(jié)裝置,可通用各種型號(hào)的探針臺(tái)設(shè)備。減少了換硅晶片料盒換硅晶片步驟、節(jié)省了時(shí)間,提高了產(chǎn)能。