一種提高在測試探針臺上對探針保護效率的方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811472063.1 申請日 -
公開（公告）號 CN109848798B 公開（公告）日 2021-05-11
申請公布號 CN109848798B 申請公布日 2021-05-11
分類號 B24B19/14;B24B41/04;G01R1/067;G01R31/28 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王玉龍;王華;凌儉波;馬健;王錦;葉建明 申請（專利權(quán)）人 上海華嶺集成電路技術(shù)股份有限公司
代理機構(gòu) 上海海貝律師事務(wù)所 代理人 范海燕
地址 201203 上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)郭守敬路351號2號樓1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種提高在測試探針臺上對探針保護效率的方法及裝置，將放置磨針單元的底座設(shè)計成抽屜式柱狀體，抽屜式柱狀體最外圈除了正前方那面，其余三面用鐵板固定起來，垂直于底座，在鐵板中間用隔板將中間區(qū)域等分出來，用于放置磨針單元，在底座上用一個可旋轉(zhuǎn)的鐵棒來固定所有磨針單元；本發(fā)明提供的一種提高在測試探針臺上對探針保護效率的方法及裝置，通過對探針臺放置cleaningunit的底座結(jié)構(gòu)進行改造，做成抽屜式柱狀體，來達(dá)到可以存放多個cleaningunit的目的，多個cleaningunit上可以放置不同的砂紙類型，方便隨時更換進行實驗對比。