一種利用真空吸嘴的石英晶體移載裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021815414.7 申請日 -
公開(公告)號 CN213140557U 公開(公告)日 2021-05-07
申請公布號 CN213140557U 申請公布日 2021-05-07
分類號 B65G47/91(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 喻信東;李天寶;汪曉虎;謝凡;魯壑;崔婷婷 申請(專利權(quán))人 隨州泰華電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 441300湖北省隨州市曾都經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)交通大道1131號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種利用真空吸嘴的石英晶體移載裝置,包括機(jī)架,所述機(jī)架頂部連接有豎直向下的導(dǎo)向柱,導(dǎo)向柱上從上至下依次套接有固定法蘭、吸附圓盤和破真空密封固定件,吸附圓盤外緣上均勻分布有垂直于導(dǎo)向柱的真空吸嘴,機(jī)架底部設(shè)置有電磁閥,電磁閥、真空轉(zhuǎn)換接頭、破真空密封固定件和吸附圓盤之間通過真空管形成連通的氣路,破真空密封固定件內(nèi)設(shè)置有與真空吸嘴個(gè)數(shù)對應(yīng)的氣孔,每個(gè)氣孔通過真空管與真空吸嘴連接形成一個(gè)管路。??