一種提高硬質(zhì)涂層與基材結(jié)合力的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821736279.X 申請日 -
公開（公告）號 CN209307474U 公開（公告）日 2019-08-27
申請公布號 CN209307474U 申請公布日 2019-08-27
分類號 C23C14/32（2006.01）I; C23C14/02（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉偉; 馬槽偉 申請（專利權(quán)）人 大連維鈦克科技股份有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 116600 遼寧省大連市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)東北七街13號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型的提高物理氣相沉積硬質(zhì)涂層與基材結(jié)合力的裝置，在原有物理氣相沉積裝置基礎(chǔ)上，該裝置由嵌入真空室腔壁的柱狀弧源或平面弧源和置于其前面距離、位置可調(diào)的擋板，以及相應(yīng)的獨立供電電源組成。通過調(diào)整弧源、擋板、懸掛基材轉(zhuǎn)架及真空室壁之間的電位，實現(xiàn)對弧源發(fā)射的等離子體及其所離化工作氣體離子的分離、運動的有效控制，實現(xiàn)電子轟擊加熱、氣體離子或弧源金屬離子刻蝕清洗及金屬離子注入，之后接續(xù)硬質(zhì)涂層的物理氣相沉積，本裝置及工藝能夠使基材表面清洗更加徹底，調(diào)控基材表面粗糙度，活化基材表面，有效提高了刀具、模具、機械關(guān)鍵零部件和鎖具等產(chǎn)品表面硬質(zhì)防護涂層與基體的結(jié)合力。