一種ARC后部磁場(chǎng)調(diào)整機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201820808461.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN208308948U 公開(kāi)（公告）日 2019-01-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN208308948U 申請(qǐng)公布日 2019-01-01
分類號(hào) C23C14/35 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉曉華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 大連維鈦克科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 116600 遼寧省大連市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)鐵山西路3-1號(hào)-A、B
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種ARC后部磁場(chǎng)調(diào)整機(jī)構(gòu)，靶材座上部安裝靶材，靶材座下方設(shè)有冷卻法蘭，冷卻法蘭外部對(duì)稱焊接有冷卻法蘭焊接件，冷卻法蘭焊接件為中空結(jié)構(gòu)，冷卻法蘭焊接件端部連接水嘴，冷卻法蘭焊接件、冷卻法蘭上部和靶座之間的中空結(jié)構(gòu)構(gòu)成冷卻水路；冷卻法蘭下部安裝螺母蓋，貫穿螺母蓋螺紋安裝手柄，位于冷卻法蘭內(nèi)部的手柄上端安裝磁鐵座，磁鐵座上安裝磁鐵。本實(shí)用新型將后部磁鐵安裝在可調(diào)整的手柄機(jī)構(gòu)上，以有效調(diào)整磁鐵與靶材的距離來(lái)實(shí)現(xiàn)后部磁場(chǎng)始終給濺射離子提供足夠的能量；在靶材后面加上冷卻裝置對(duì)靶材冷卻，同時(shí)也能保證濺射的離子更加細(xì)小，杜絕大顆粒的產(chǎn)生，使膜層更加細(xì)膩、增強(qiáng)結(jié)合力，使弧源運(yùn)行性能更加穩(wěn)定、可靠。