一種電弧引弧機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821738431.8 申請日 -
公開（公告）號 CN209307477U 公開（公告）日 2019-08-27
申請公布號 CN209307477U 申請公布日 2019-08-27
分類號 C23C14/32（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 侯玉萍 申請（專利權(quán)）人 大連維鈦克科技股份有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 116600 遼寧省大連市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)東北七街13號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種電弧引弧機構(gòu)，氣缸安裝于氣缸座上部，氣缸桿貫穿氣缸座中心孔，氣缸座下側(cè)位于氣缸桿外部設(shè)有波紋管，波紋管下端連接引弧針桿，引弧針桿上安裝引弧針。本實用新型的電弧引弧機構(gòu)，采用波紋管密封形式，將氣缸桿與真空環(huán)境隔離，氣缸桿處于大氣中，不受粉塵影響，可長時間持續(xù)工作，大大提高了生產(chǎn)效率；并且引弧針的位置可以在鍍膜的過程中隨著靶材的消耗進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整，提高了靶材的利用率，節(jié)省了生產(chǎn)成本。