一種DLC涂層沉積設備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | 2020210575152 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212375360U | 公開（公告）日 | 2021-01-19 |
| 申請公布號 | CN212375360U | 申請公布日 | 2021-01-19 |
| 分類號 | C23C14/06(2006.01)I; | 分類 | 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 劉成斌;黃明章 | 申請（專利權(quán)）人 | 東莞市普拉提納米科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 東莞市啟信展華知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 馮蓉 |
| 地址 | 523000廣東省東莞市長安鎮(zhèn)廈崗社區(qū)江南西街9號二樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種DLC涂層沉積設備，包括爐體、管道、抽風機、爐門和送風機，所述爐體一側(cè)的外壁上安裝有爐門，且爐門的一端與爐體相鉸接，并且爐門一側(cè)的爐體內(nèi)部安裝有加熱管，所述加熱管的一端與爐體內(nèi)壁相鉸接，且加熱管一側(cè)的爐體內(nèi)部安裝有銅棒，并且銅棒的兩端皆與爐體內(nèi)壁固定連接，所述銅棒的外壁上設有輔助陽極，且輔助陽極一側(cè)的爐體內(nèi)部設有轉(zhuǎn)架車，并且轉(zhuǎn)架車的兩端皆與爐體內(nèi)壁固定連接，所述轉(zhuǎn)架車一側(cè)的爐體內(nèi)部安裝有兩組靶座，且靶座的一端延伸至爐體的內(nèi)部，并且靶座的內(nèi)部設有驅(qū)動機構(gòu)。本實用新型不僅實現(xiàn)了沉積設備高效快速的沉積涂層，解決了DLC打底需要磁控濺射的問題，而且提高了含碳氣體的離化率。?? |
