用于測量氮化物基開關(guān)裝置的動(dòng)態(tài)導(dǎo)通電阻的設(shè)備和方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202280001225.1 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN114729958A 公開(公告)日 2022-07-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN114729958A 申請(qǐng)公布日 2022-07-08
分類號(hào) G01R27/02(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I;H03K17/687(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 陳常 申請(qǐng)(專利權(quán))人 英諾賽科(蘇州)半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳宜保知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 -
地址 215211江蘇省蘇州市吳江區(qū)汾湖高新開發(fā)區(qū)新黎路98號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供一種用于測量氮化物基被測裝置(DUT)的動(dòng)態(tài)導(dǎo)通電阻的設(shè)備,所述氮化物基被測裝置包括連接到控制器的控制端子,所述控制器被配置成生成用以接通和切斷所述DUT的控制信號(hào)。所述設(shè)備包括第一箝位模塊、第二箝位模塊和驅(qū)動(dòng)模塊。所述驅(qū)動(dòng)模塊被配置成感測所述DUT的狀態(tài)改變,且基于所述DUT的狀態(tài)改變生成用以接通和切斷所述第一箝位模塊的控制信號(hào),使得當(dāng)所述DUT處于接通狀態(tài)時(shí),跨所述第一和第二輸出節(jié)點(diǎn)的輸出電壓經(jīng)箝位以指示所述DUT的漏極?源極電壓。所提供的設(shè)備可解決GaN裝置的動(dòng)態(tài)導(dǎo)通電阻的測量過程中的過沖問題。