一種芯片測試探針臺防打火裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023172851.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214310595U 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN214310595U 申請公布日 2021-09-28
分類號 G01R1/02（2006.01）I;F17D1/00（2006.01）I;F17D1/02（2006.01）I;F17D3/01（2006.01）I;F17D3/18（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 徐明星;夏冬生;張朝奇;馬齊營 申請（專利權(quán)）人 山東芯諾電子科技股份有限公司
代理機構(gòu) 青島發(fā)思特專利商標代理有限公司 代理人 盧登濤
地址 272100山東省濟寧市兗州區(qū)兗顏路路北（天齊廟村村西）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種芯片測試探針臺防打火裝置，屬于半導體電子元器件制造技術領域，包括氮氣、浮子流量計、通氣管和洗氣瓶，所述氮氣通過浮子流量計和通氣管通入洗氣瓶中，洗氣瓶中盛裝有全氟聚醚油，使用氮氣促進全氟聚醚油揮發(fā)成氣體，所述洗氣瓶的外部聯(lián)接有出氣管，通過出氣管將揮發(fā)的氣體分送至各探針臺管道中。本裝置使用氮氣促進全氟聚醚油揮發(fā)，將揮發(fā)后氣體由氮氣輸送至點測機臺使點測芯片全部被全氟聚醚油氣體覆蓋杜絕集中電場電離現(xiàn)象，本裝置能夠為測試時每顆芯片提供全氟聚醚油氣體氛圍，增加生產(chǎn)效率，滿足了生產(chǎn)需求，提高了產(chǎn)量。利用本裝置進行芯片測試其效果完全滿足測試要求。