一種半導(dǎo)體晶圓貼膜裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201822271553.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209701039U 公開（公告）日 2019-11-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN209701039U 申請(qǐng)公布日 2019-11-29
分類號(hào) B65B33/02（2006.01） 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 李鳳麗; 鄒祥林; 張俊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 泰州芯格電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州易瑞智新專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 周浩杰
地址 225500 江蘇省泰州市姜堰南環(huán)西路1001號(hào)科技大廈
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體晶圓貼膜裝置，具有機(jī)箱；機(jī)箱的一側(cè)設(shè)有藍(lán)膜膠輥；機(jī)箱的另一側(cè)設(shè)有貼膜臺(tái)；貼膜臺(tái)上設(shè)有貼膜盤；所述貼膜盤的上方設(shè)有可水平移動(dòng)并可將藍(lán)膜壓在半導(dǎo)體晶圓上的壓膜輥組件；所述貼膜盤的上方設(shè)有用于切割藍(lán)膜的切割組件；所述藍(lán)膜膠輥與貼膜臺(tái)之間設(shè)有繃緊橫桿；貼膜臺(tái)遠(yuǎn)離繃緊橫桿的一側(cè)設(shè)有卷料輥；所述卷料輥與繃緊橫桿平行且處于同一水平面；卷料輥的一端與電機(jī)傳動(dòng)連接。本實(shí)用新型自動(dòng)化程度高，通過卷料輥能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)化撕除參與藍(lán)膜，以及藍(lán)膜的自動(dòng)進(jìn)料。