一種半導(dǎo)體晶圓快速貼膜臺
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202021417188.7 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN213026053U | 公開(公告)日 | 2021-04-20 |
申請公布號 | CN213026053U | 申請公布日 | 2021-04-20 |
分類號 | H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 李鳳麗 | 申請(專利權(quán))人 | 泰州芯格電子科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京盛凡智榮知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 鄧凌云 |
地址 | 225500江蘇省泰州市姜堰區(qū)羅塘街道南環(huán)西路1001號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體晶圓快速貼膜臺,包括貼膜裝置本體,貼膜裝置本體的頂部安裝有工作臺,工作臺的四個拐角處均安裝有第二液壓缸,第二液壓缸的頂部安裝有頂板,頂板的底端中部安裝有第一電動伸縮桿,第一電動伸縮桿的底部安裝有壓板,頂板的底部安裝有玻璃外罩,玻璃外罩的底部安裝有密封墊,玻璃外罩的內(nèi)部一側(cè)安裝有膜帶釋放裝置,玻璃外罩的內(nèi)部另一側(cè)安裝有膜帶收繳裝置,工作臺的頂部兩側(cè)均設(shè)有伸縮桿安裝槽,該貼膜臺整體穩(wěn)定性能強(qiáng),可以快速移動到合適的位置,靈活性強(qiáng),可以快速對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行固定,可以實(shí)現(xiàn)自動貼膜,可以對半導(dǎo)體晶圓上的灰塵進(jìn)行清理,貼膜的時候還能提供照明,便于操作者使用。?? |
