一種晶圓片濕式切割用劃片機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821865428.2 申請日 -
公開（公告）號 CN209478632U 公開（公告）日 2019-10-11
申請公布號 CN209478632U 申請公布日 2019-10-11
分類號 B28D5/00;B28D7/00;B24C1/04;B24C3/00;B24C5/02;B24C7/00 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 李鳳麗 申請（專利權(quán)）人 泰州芯格電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 225500 江蘇省泰州市姜堰區(qū)羅塘街道南環(huán)西路1001號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及晶圓片劃片技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種晶圓片濕式切割用劃片機(jī)，包括劃片機(jī)機(jī)體，所述劃片機(jī)機(jī)體的頂部固定安裝有第一滑軌，所述第一滑軌的頂部活動(dòng)安裝有第二滑軌，所述第二滑軌的頂部活動(dòng)安裝有第一滑塊，所述第一滑塊的頂部固定安裝有工作臺。該晶圓片濕式切割用劃片機(jī)，通過液壓缸的伸縮運(yùn)動(dòng)，可以帶動(dòng)固定桿運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)第二滑塊左右運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)超高壓水射流發(fā)生器左右運(yùn)動(dòng)，完成劃片動(dòng)作，通過超高壓水射流發(fā)生器，可以使得水高速通過水噴頭排出，形成水刀，對晶圓片進(jìn)行劃片工作，采用這種濕式切割的方式劃片，精度更高，并且無污染，同時(shí)不會產(chǎn)生高溫，有一定的保護(hù)作用。