一種半導(dǎo)體晶粒片轉(zhuǎn)移裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201822273755.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN209298078U 公開(kāi)（公告）日 2019-08-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN209298078U 申請(qǐng)公布日 2019-08-23
分類(lèi)號(hào) H01L21/67（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 李鳳麗; 鄒祥林; 張俊 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 泰州芯格電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州易瑞智新專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 周浩杰
地址 225500 江蘇省泰州市姜堰南環(huán)西路1001號(hào)科技大廈
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體晶粒片轉(zhuǎn)移裝置，具有機(jī)架；所述機(jī)架上固定設(shè)有上料臺(tái)面；所述機(jī)架上滑動(dòng)設(shè)有通過(guò)第一滑動(dòng)控制組件可與上料臺(tái)面的右側(cè)拼合或脫開(kāi)的刮板；所述機(jī)架上位于上料臺(tái)面的下方滑動(dòng)設(shè)有電動(dòng)滾筒；所述電動(dòng)滾筒通過(guò)第二滑動(dòng)控制組件可與上料臺(tái)面的下表面壓緊或脫開(kāi)；所述機(jī)架還設(shè)有薄膜卷筒；薄膜卷筒上的薄膜從刮板的下方穿過(guò)并從刮板與上料臺(tái)面之間穿出；所述機(jī)架上滑動(dòng)設(shè)有通過(guò)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)其滑動(dòng)的滑動(dòng)梁；滑動(dòng)梁跨設(shè)在刮板的上方；所述滑動(dòng)梁上設(shè)有用于壓緊從刮板與上料臺(tái)面之間穿出的薄膜的壓緊組件。本實(shí)用新型能夠?qū)⑶懈詈蟮陌雽?dǎo)體晶圓完整的轉(zhuǎn)移到不帶粘性的薄膜上，方便后續(xù)的分揀工作。