一種研磨助劑、制備方法、用途及研磨液和研磨方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111393851.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113930165A 公開（公告）日 2022-01-14
申請公布號 CN113930165A 申請公布日 2022-01-14
分類號 C09G1/02（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 侯軍;李傳強 申請（專利權(quán)）人 浙江奧首材料科技有限公司
代理機構(gòu) 北京至臻永信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 彭曉玲;張寶香
地址 324012浙江省衢州市杜鵑路36號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種碳化硅單晶襯底研磨助劑，其包括羧基改性多糖類化合物、膨潤土凝膠和抗吸附劑，以及任選的分散劑、保濕劑、pH調(diào)節(jié)劑、消泡劑、防銹劑和去離子水，還涉及其制備方法、用途、包含其的研磨液及研磨方法，所述研磨液通過各個組份的選擇和復(fù)配，尤其是通過包括所述研磨助劑，從而具有了諸多有益且優(yōu)異的技術(shù)效果，可用于碳化硅單晶襯底的研磨工序處理，在半導(dǎo)體加工領(lǐng)域具有潛在的巨大應(yīng)用前景和潛力。