一種研磨助劑、制備方法、用途及研磨液和研磨方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111393851.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113930165A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-01-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113930165A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-01-14 |
| 分類(lèi)號(hào) | C09G1/02（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I | 分類(lèi) | 染料；涂料；拋光劑；天然樹(shù)脂；黏合劑；其他類(lèi)目不包含的組合物；其他類(lèi)目不包含的材料的應(yīng)用; |
| 發(fā)明人 | 侯軍;李傳強(qiáng) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 浙江奧首材料科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京至臻永信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 彭曉玲;張寶香 |
| 地址 | 324012浙江省衢州市杜鵑路36號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種碳化硅單晶襯底研磨助劑，其包括羧基改性多糖類(lèi)化合物、膨潤(rùn)土凝膠和抗吸附劑，以及任選的分散劑、保濕劑、pH調(diào)節(jié)劑、消泡劑、防銹劑和去離子水，還涉及其制備方法、用途、包含其的研磨液及研磨方法，所述研磨液通過(guò)各個(gè)組份的選擇和復(fù)配，尤其是通過(guò)包括所述研磨助劑，從而具有了諸多有益且優(yōu)異的技術(shù)效果，可用于碳化硅單晶襯底的研磨工序處理，在半導(dǎo)體加工領(lǐng)域具有潛在的巨大應(yīng)用前景和潛力。 |
