一種無醇型兩親性制絨添加劑及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111429620.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114086259A 公開（公告）日 2022-02-25
申請公布號 CN114086259A 申請公布日 2022-02-25
分類號 C30B33/10（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;H01L31/0236（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 侯軍;張潔 申請（專利權(quán)）人 浙江奧首材料科技有限公司
代理機構(gòu) 大連星海專利事務(wù)所有限公司 代理人 楊翠翠
地址 324012浙江省衢州市杜鵑路36號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種無醇型兩親性制絨添加劑及其制備方法，其屬于單晶硅表面處理的技術(shù)領(lǐng)域。該添加劑包括多糖、表面活性劑和無機堿，但是不含有醇類，是無醇型的兩親性制絨添加劑。多糖吸附于單晶硅表面，在溶液中可有效降低表面張力，吸附在硅片表面作為腐蝕反應(yīng)的起始點，為制絨腐蝕提供成核位點。多糖吸附于硅片表面，幫助制絨過程中產(chǎn)生的氫氣及時脫離硅片表面，避免“漂片”或產(chǎn)生氣泡印進而導(dǎo)致制絨不均勻。表面活性劑通過與多糖締合解決多糖的高溫析出問題，得到兼具良好吸附性與溶液穩(wěn)定性的添加劑。該添加劑輔助硅片表面金字塔的生長，增強各向異性腐蝕的各向異性因子，在硅表面形成良好的陷光結(jié)構(gòu)，增大光在硅表面的光程，減低硅片反射率。