一種銅表面鈍化組合物、其用途及包含其的光刻膠剝離液

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111076657.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113921383A 公開(kāi)（公告）日 2022-01-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN113921383A 申請(qǐng)公布日 2022-01-11
分類(lèi)號(hào) H01L21/027（2006.01）I;C23C22/02（2006.01）I;C23C22/63（2006.01）I;C23G1/20（2006.01）I;C23G5/02（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 侯軍;申海艷 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 浙江奧首材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京至臻永信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 彭曉玲;張寶香
地址 324012浙江省衢州市杜鵑路36號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種銅表面鈍化組合物，其包括4?（2?吡啶偶氮）間苯二酚和氨基葡萄糖衍生物，還涉及包含其的光刻膠剝離液和一種銅基板的清洗方法，所述銅表面鈍化組合物具有良好的銅鈍化保護(hù)性能，從而可用于半導(dǎo)體后道封裝的凸塊工藝中的光刻膠去除和銅表面鈍化保護(hù)，在微電子技術(shù)領(lǐng)域具有良好的工業(yè)應(yīng)用前景和推廣潛力。