一種用于晶圓加工的臨時鍵合膠、其制備方法及用途

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111238937.9 申請日 -
公開（公告）號 CN114149768A 公開（公告）日 2022-03-08
申請公布號 CN114149768A 申請公布日 2022-03-08
分類號 C09J123/08（2006.01）I;C09J175/04（2006.01）I;C09J11/08（2006.01）I;C09J11/06（2006.01）I;C09J11/04（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 侯軍;李傳強 申請（專利權(quán)）人 浙江奧首材料科技有限公司
代理機構(gòu) 大連大工智訊專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 崔雪
地址 324012浙江省衢州市杜鵑路36號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種用于晶圓加工的臨時鍵合膠、其制備方法及用途。本發(fā)明用于晶圓加工的臨時鍵合膠包括質(zhì)量份如下的各組分：聚合樹脂0.1?5份、增粘樹脂20?50份、增強劑1?5份、增塑劑1?5份、高沸點溶劑10?50份、低沸點溶劑10?30份、潤濕劑0.5?5份、抗氧化劑0.1?0.5份。本發(fā)明還公開了所述用于晶圓加工的臨時鍵合膠的制備方法及用途。本發(fā)明用于晶圓加工的臨時鍵合膠是一種熱穩(wěn)定性高、抗化學(xué)腐蝕強、粘結(jié)力強、粘片均勻的臨時鍵合膠，能廣泛適用于晶圓加工。