一種用于晶圓加工的臨時(shí)鍵合膠、其制備方法及用途
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111238937.9 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN114149768A | 公開(kāi)(公告)日 | 2022-03-08 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN114149768A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-08 |
分類(lèi)號(hào) | C09J123/08(2006.01)I;C09J175/04(2006.01)I;C09J11/08(2006.01)I;C09J11/06(2006.01)I;C09J11/04(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 分類(lèi) | 染料;涂料;拋光劑;天然樹(shù)脂;黏合劑;其他類(lèi)目不包含的組合物;其他類(lèi)目不包含的材料的應(yīng)用; |
發(fā)明人 | 侯軍;李傳強(qiáng) | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 | 浙江奧首材料科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 大連大工智訊專(zhuān)利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) | 代理人 | 崔雪 |
地址 | 324012浙江省衢州市杜鵑路36號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提供一種用于晶圓加工的臨時(shí)鍵合膠、其制備方法及用途。本發(fā)明用于晶圓加工的臨時(shí)鍵合膠包括質(zhì)量份如下的各組分:聚合樹(shù)脂0.1?5份、增粘樹(shù)脂20?50份、增強(qiáng)劑1?5份、增塑劑1?5份、高沸點(diǎn)溶劑10?50份、低沸點(diǎn)溶劑10?30份、潤(rùn)濕劑0.5?5份、抗氧化劑0.1?0.5份。本發(fā)明還公開(kāi)了所述用于晶圓加工的臨時(shí)鍵合膠的制備方法及用途。本發(fā)明用于晶圓加工的臨時(shí)鍵合膠是一種熱穩(wěn)定性高、抗化學(xué)腐蝕強(qiáng)、粘結(jié)力強(qiáng)、粘片均勻的臨時(shí)鍵合膠,能廣泛適用于晶圓加工。 |
