一種用于晶圓加工的臨時(shí)鍵合膠、其制備方法及用途

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111238937.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN114149768A 公開(kāi)(公告)日 2022-03-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN114149768A 申請(qǐng)公布日 2022-03-08
分類(lèi)號(hào) C09J123/08(2006.01)I;C09J175/04(2006.01)I;C09J11/08(2006.01)I;C09J11/06(2006.01)I;C09J11/04(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I 分類(lèi) 染料;涂料;拋光劑;天然樹(shù)脂;黏合劑;其他類(lèi)目不包含的組合物;其他類(lèi)目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 侯軍;李傳強(qiáng) 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 浙江奧首材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連大工智訊專(zhuān)利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 崔雪
地址 324012浙江省衢州市杜鵑路36號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種用于晶圓加工的臨時(shí)鍵合膠、其制備方法及用途。本發(fā)明用于晶圓加工的臨時(shí)鍵合膠包括質(zhì)量份如下的各組分:聚合樹(shù)脂0.1?5份、增粘樹(shù)脂20?50份、增強(qiáng)劑1?5份、增塑劑1?5份、高沸點(diǎn)溶劑10?50份、低沸點(diǎn)溶劑10?30份、潤(rùn)濕劑0.5?5份、抗氧化劑0.1?0.5份。本發(fā)明還公開(kāi)了所述用于晶圓加工的臨時(shí)鍵合膠的制備方法及用途。本發(fā)明用于晶圓加工的臨時(shí)鍵合膠是一種熱穩(wěn)定性高、抗化學(xué)腐蝕強(qiáng)、粘結(jié)力強(qiáng)、粘片均勻的臨時(shí)鍵合膠,能廣泛適用于晶圓加工。