真空腔門的補(bǔ)償機(jī)構(gòu)及真空設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122611451.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215947402U 公開（公告）日 2022-03-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN215947402U 申請(qǐng)公布日 2022-03-04
分類號(hào) C23C14/56（2006.01）I;C23C14/22（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 宗堅(jiān);王志軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇菲沃泰納米科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張瑞;唐嘉
地址 214000江蘇省無錫市惠山區(qū)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)玉祁配套區(qū)東環(huán)路182號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種真空腔門的補(bǔ)償機(jī)構(gòu)及真空設(shè)備，其中補(bǔ)償機(jī)構(gòu)包括：固定于真空腔門側(cè)壁的鉸鏈底座；固定于真空腔體側(cè)壁且與鉸鏈底座相對(duì)應(yīng)的支撐底座；活動(dòng)安裝于支撐底座內(nèi)且平行于第一方向的支撐桿，支撐桿可沿平行于第一方向的直線上往復(fù)運(yùn)動(dòng)；安裝于鉸鏈底座內(nèi)且平行于第二方向的支撐軸，支撐軸與支撐桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接，第一方向與第二方向垂直；以及安裝于支撐底座內(nèi)，且分別與支撐桿抵觸接觸的彈性體。由于支撐桿可沿平行于第一方向的直線上往復(fù)運(yùn)動(dòng)，因此在關(guān)閉真空腔門、以及抽真空時(shí)能夠提供高補(bǔ)償量，以實(shí)現(xiàn)安裝誤差可補(bǔ)償、以及抽真空時(shí)真空腔門貼合度可補(bǔ)償。而且操作簡(jiǎn)單，減少鍍膜輔助調(diào)機(jī)時(shí)間，實(shí)現(xiàn)真空鍍膜工藝的高可靠性。