一種制備耐腐耐磨鉭復(fù)合涂層的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610439874.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106086809A 公開（公告）日 2016-11-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN106086809A 申請(qǐng)公布日 2016-11-09
分類號(hào) C23C16/14(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 葉挺志 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 艾因斯（北京）鉭應(yīng)用科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京金智普華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李明卓
地址 100070 北京市豐臺(tái)區(qū)外環(huán)西路26號(hào)院17號(hào)樓1至5層1701內(nèi)3層(園區(qū))
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種制備耐腐耐磨鉭復(fù)合涂層的方法，其特征在于，包括如下步驟：(1)先用惰性氣體對(duì)氣相沉積反應(yīng)器及所有管道進(jìn)行沖洗、排空；(2)將待沉積材料處理后放于氣相沉積反應(yīng)器內(nèi)；(3)用真空泵將氣相沉積反應(yīng)器內(nèi)抽真空，同時(shí)將氣相沉積反應(yīng)器內(nèi)加熱；(4)在蒸發(fā)器內(nèi)將鹵化鉭加熱至50?250℃，用載氣載帶鹵化鉭氣體進(jìn)入反應(yīng)器，同時(shí)向反應(yīng)器內(nèi)通入N2和H2，反應(yīng)進(jìn)行0.5～5小時(shí)。(5)停止通入N2后繼續(xù)通入H2，反應(yīng)繼續(xù)進(jìn)行，材料表面形成金屬鉭涂層；(6)取出沉積樣品。本發(fā)明優(yōu)點(diǎn)是可在不銹鋼和陶瓷閥門、軸承、管件等工業(yè)常用零部件上沉積致密鉭涂層，提高了零部件的耐腐蝕性能，顯著延長(zhǎng)了零部件的使用壽命。