一種制備耐腐耐磨鉭復合涂層的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610439874.6 申請日 -
公開（公告）號 CN106086809B 公開（公告）日 2018-08-17
申請公布號 CN106086809B 申請公布日 2018-08-17
分類號 C23C16/14 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 葉挺志 申請（專利權(quán)）人 艾因斯（北京）鉭應用科技有限公司
代理機構(gòu) 北京金智普華知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李明卓
地址 100070 北京市豐臺區(qū)外環(huán)西路26號院17號樓1至5層1701內(nèi)3層(園區(qū))
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種制備耐腐耐磨鉭復合涂層的方法，其特征在于，包括如下步驟：(1)先用惰性氣體對氣相沉積反應器及所有管道進行沖洗、排空；(2)將待沉積材料處理后放于氣相沉積反應器內(nèi)；(3)用真空泵將氣相沉積反應器內(nèi)抽真空，同時將氣相沉積反應器內(nèi)加熱；(4)在蒸發(fā)器內(nèi)將鹵化鉭加熱至50?250℃，用載氣載帶鹵化鉭氣體進入反應器，同時向反應器內(nèi)通入N2和H2，反應進行0.5～5小時。(5)停止通入N2后繼續(xù)通入H2，反應繼續(xù)進行，材料表面形成金屬鉭涂層；(6)取出沉積樣品。本發(fā)明優(yōu)點是可在不銹鋼和陶瓷閥門、軸承、管件等工業(yè)常用零部件上沉積致密鉭涂層，提高了零部件的耐腐蝕性能，顯著延長了零部件的使用壽命。