基于單個Lamb波器件的壓力和流速多參數(shù)測量裝置和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510672759.9 申請日 -
公開（公告）號 CN105241505A 公開（公告）日 2016-01-13
申請公布號 CN105241505A 申請公布日 2016-01-13
分類號 G01D21/02(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 周連群;孔慧;李傳宇;姚佳;張威;郭振 申請（專利權(quán)）人 濟南國科凱芯電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京遠大卓悅知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 中國科學院蘇州生物醫(yī)學工程技術(shù)研究所
地址 215163 江蘇省蘇州市科技城科靈路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于單個Lamb波器件的壓力和流速多參數(shù)測量裝置和方法，其包括：流道底座，其具有第一凹槽及置于所述第一凹槽內(nèi)的Lamb波傳感器；流道上板，其覆蓋于流道底座上，其底面設(shè)有流體進出口及流道；測試電路板，其覆蓋于所述流道上板上，其具有與外部測試儀器連接的接口；彈性探頭，其一端與測試電路板電性連接，另一端穿過所述流道上板并繼續(xù)延伸形成彈性觸頭；其中，所述Lamb波傳感器從下以上依次設(shè)有硅襯底層、地電極、氮化鋁薄膜及叉指電極。本發(fā)明基于Lamb波傳感器的測量裝置具有體積小、靈敏度高、損耗低、模式多的特點，且利用單個Lamb波傳感器多模式的特點即可精確的測量壓力和流速的變化大小和方向。