基于單個(gè)Lamb波器件的壓力和流速多參數(shù)測(cè)量裝置和方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510672759.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105241505B 公開（公告）日 2017-03-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN105241505B 申請(qǐng)公布日 2017-03-22
分類號(hào) G01D21/02(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 周連群;孔慧;李傳宇;姚佳;張威;郭振 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 濟(jì)南國(guó)科凱芯電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)大卓悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 中國(guó)科學(xué)院蘇州生物醫(yī)學(xué)工程技術(shù)研究所
地址 215163 江蘇省蘇州市科技城科靈路88號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于單個(gè)Lamb波器件的壓力和流速多參數(shù)測(cè)量裝置和方法，其包括：流道底座，其具有第一凹槽及置于所述第一凹槽內(nèi)的Lamb波傳感器；流道上板，其覆蓋于流道底座上，其底面設(shè)有流體進(jìn)出口及流道；測(cè)試電路板，其覆蓋于所述流道上板上，其具有與外部測(cè)試儀器連接的接口；彈性探頭，其一端與測(cè)試電路板電性連接，另一端穿過所述流道上板并繼續(xù)延伸形成彈性觸頭；其中，所述Lamb波傳感器從下以上依次設(shè)有硅襯底層、地電極、氮化鋁薄膜及叉指電極。本發(fā)明基于Lamb波傳感器的測(cè)量裝置具有體積小、靈敏度高、損耗低、模式多的特點(diǎn)，且利用單個(gè)Lamb波傳感器多模式的特點(diǎn)即可精確的測(cè)量壓力和流速的變化大小和方向。