單晶爐循環(huán)水路結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022074021.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN213835620U 公開(kāi)(公告)日 2021-07-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN213835620U 申請(qǐng)公布日 2021-07-30
分類(lèi)號(hào) C30B11/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 瞿建強(qiáng) 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 江陰市光科光電精密設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無(wú)錫義海知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 王威欽
地址 214400江蘇省無(wú)錫市江陰市高新園區(qū)長(zhǎng)山路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種單晶爐循環(huán)水路結(jié)構(gòu),包括設(shè)置在單晶爐外筒外側(cè)壁上的進(jìn)水部件及出水部件,進(jìn)水部件其進(jìn)水通道與下法蘭上設(shè)置的法蘭散熱槽相連通,下法蘭上的法蘭散熱槽與螺旋形的循環(huán)水路下端進(jìn)水口相連通,循環(huán)水路上端出水口與單晶爐其上法蘭上設(shè)置的法蘭散熱槽相連通,上法蘭上的法蘭散熱槽與出水部件的出水通道相連通。本實(shí)用新型改進(jìn)單晶爐其循環(huán)水路結(jié)構(gòu),將冷卻循環(huán)水路延伸設(shè)計(jì)到上法蘭及下法蘭,增強(qiáng)單晶爐的散熱效果,能夠保證上法蘭上的密封圈處于一個(gè)不高的工作溫度,延長(zhǎng)了密封圈的使用壽命及其密封效果。