一種擴(kuò)散泵冷阱

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021763467.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN213823519U 公開(kāi)(公告)日 2021-07-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN213823519U 申請(qǐng)公布日 2021-07-30
分類(lèi)號(hào) B01D8/00(2006.01)I;B01D5/00(2006.01)I;B01D53/00(2006.01)I 分類(lèi) 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 瞿建強(qiáng) 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 江陰市光科光電精密設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無(wú)錫義海知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 王威欽
地址 214400江蘇省無(wú)錫市江陰市高新園區(qū)長(zhǎng)山路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種擴(kuò)散泵冷阱,包括冷阱法蘭,冷阱法蘭上固定設(shè)置若干圈錐形環(huán)狀的散熱環(huán),散熱環(huán)上繞設(shè)第一冷卻水管,冷阱法蘭側(cè)面設(shè)有與第一冷卻水管相連通的第一進(jìn)水管及第一出水管,散熱環(huán)上固定設(shè)置若干個(gè)超出散熱環(huán)上邊緣的延伸柱,延伸柱上繞設(shè)第二冷卻水管,冷阱法蘭側(cè)面設(shè)有與第二冷卻水管相連通的第二進(jìn)水管及第二出水管。本冷阱增大了散熱面積,設(shè)置兩層冷卻水管增強(qiáng)了冷卻效果。本實(shí)用新型冷卻效果更好,降低了油揮發(fā)到工作腔體內(nèi),保證真空腔體運(yùn)行狀態(tài)下其他成分的攝入。