一種玻璃通孔加工方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110230850.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113045209A 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN113045209A 申請公布日 2021-06-29
分類號 C03C15/00;C03C23/00 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 崔成強;楊斌;羅紹根 申請（專利權(quán)）人 廣東芯華微電子技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 廣州鼎賢知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉莉梅
地址 528225 廣東省佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)南海軟件科技園內(nèi)佛高科技智庫中心A座科研樓A208-1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種玻璃通孔加工方法，包括：將待加工的平板玻璃置于堿性溶液超聲清洗，用去離子水進行沖洗并干燥；采用激光對平板玻璃的目標(biāo)區(qū)域進行照射；通過蝕刻液對平板玻璃進行刻蝕以形成通孔；對蝕刻后的平板玻璃進行超聲清洗；按重量份計，蝕刻液按以下組份配制而成：氫氟酸40wt.％10～40份；純水50～200份；輔酸1～40份；鹽0.1～10份；表面活性復(fù)配劑0.05～5份；表面活性復(fù)配劑由表面活性劑與醋酸或含有1～3個碳原子的醇按照1:1～10比例復(fù)配而成；表面活性劑為辛基苯基聚氧乙烯醚、十六烷基三甲基氯化銨、α?烯基磺酸鈉、聚乙二醇辛基苯基醚中的一種或多種。該加工方法打孔良率高，且孔壁光滑規(guī)整。