一種多頭測溫裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110634193.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113215648A 公開（公告）日 2021-08-06
申請公布號 CN113215648A 申請公布日 2021-08-06
分類號 C30B11/00（2006.01）I;C30B28/06（2006.01）I;G01K1/14（2021.01）I;G01K3/14（2006.01）I;G01K7/02（2021.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 錢小波;唐飛;姜大朋;王慶國;蘇良碧;賈健;許艷濤 申請（專利權(quán)）人 上海德硅凱氟光電科技有限公司
代理機構(gòu) 上海驍象知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙峰
地址 201802上海市嘉定區(qū)真南路4268號2幢J16043室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種多頭測溫裝置，包括爐體和測溫組件；爐體具有一爐腔；爐腔內(nèi)設(shè)有保溫層；保溫層的內(nèi)部為空心結(jié)構(gòu)的保溫腔；保溫腔內(nèi)設(shè)有坩堝和加熱模塊；測溫組件包括多頭測溫環(huán)和第一升降機構(gòu)；多頭測溫環(huán)設(shè)于爐體內(nèi)；多頭測溫環(huán)安裝于第一升降機構(gòu)上，多頭測溫環(huán)上具有至少兩個安裝孔，每個安裝孔內(nèi)均安裝有測溫元件；坩堝安裝于第二升降機構(gòu)上；本發(fā)明通過在同一高度上，設(shè)多個測溫點，可同時實現(xiàn)同一高度上的多點溫度測量，通過升降機構(gòu)的設(shè)置，使多頭測溫環(huán)可升降運動，從而能夠?qū)崿F(xiàn)在不同高度上的溫度測量，保證在具有溫度梯度分布的爐腔內(nèi)，實現(xiàn)溫度梯度變化的測量，以直觀體現(xiàn)爐腔內(nèi)軸向立體溫場的動態(tài)變化。