石墨等脆性坩堝內(nèi)晶體取出工裝
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202121020276.8 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN214881937U | 公開(公告)日 | 2021-11-26 |
申請公布號 | CN214881937U | 申請公布日 | 2021-11-26 |
分類號 | C30B35/00(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 唐飛;姜大朋;蘇良碧;賈健 | 申請(專利權(quán))人 | 上海德硅凱氟光電科技有限公司 |
代理機構(gòu) | 上海驍象知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 趙峰 |
地址 | 201802上海市嘉定區(qū)真南路4268號2幢J16043室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種石墨等脆性坩堝內(nèi)晶體取出工裝,包括坩堝固定工裝和翻轉(zhuǎn)工裝,坩堝固定工裝包括外殼體,外殼體為兩端開口結(jié)構(gòu),外殼體上端通過螺栓固定安裝有上封蓋,外殼體內(nèi)腔下方固定安裝有支撐環(huán)形臺,外殼體下端設(shè)置有下封蓋,下封蓋的上端面與支撐環(huán)形臺相抵觸;翻轉(zhuǎn)工裝包括臺架,臺架的一側(cè)設(shè)置有放置平臺,臺架上端固定安裝有兩組軸承座,外殼體外部固定套接有固定外套件,固定外套件兩側(cè)表面中間均固定安裝有轉(zhuǎn)動軸,轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動連接在兩組軸承座內(nèi)。本發(fā)明克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足,在不損壞坩堝的情況下,能夠?qū)⒕w從坩堝中完整取出。 |
